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    Nanomotor與激光光束穩定
    發布時間:2015-11-25     點擊次數:21

      

    光束穩定系統.png

      信歐光電開發的Nanomotor系列壓電納米位移促動器,具有<30nm的分辨率,其小巧的體積和極低的重量使其在高精密定位中得到了廣泛應用,比如半導體晶圓薄片的加工、生物細胞探針的納米探測以及激光束光路穩定等等。這里,我們簡要闡述其在激光光束穩定領域的應用。

      我們采用了Nanomotor系列中的4個SNM01產品,其行程為13mm, 開環控制,分別裝配于兩個反射鏡架上,用于對反射鏡M1和M2進行角度調節。該光束穩定系統同時采用了兩個四象限位置探測器QD1和QD2。 入射光束經M1反射到M2上的P1點,再經分光鏡BS1和BS2分別將一部分光束反射入QD1和QD2,用以實時探測光束位置。QD1探測到的光斑位置信息將反饋給反射鏡M1,通過調節M1上的2個Nanomotor促動器,從而控制M1鏡片的角度,使得入射到M2上的光電P1保持恒定;同時,Q2探測到的光斑位置信息將反饋給反射鏡M2,通過調節M2上的2個Nanomotor促動器,從而控制M2鏡片的角度,使得從M2出射的光束一直沿水平方向傳輸。這樣,就完全實現了激光束空間傳輸過程中指向恒定沒有偏離,智能化地解決了激光或光學應用中的光束指向漂移的難題。

      

    光束穩定系統 規格尺寸.png


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