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    Nanomotor在半導體晶圓加工領域的應用
    發布時間:2015-11-25     點擊次數:79

      信歐光電開發的Nanomotor系列壓電納米位移促動器,具有<30nm的分辨率,其小巧的體積和極低的重量使其在高精密定位中得到了廣泛應用,比如半導體晶圓薄片的加工、生物細胞探針的納米探測以及激光束光路穩定等等。這里,我們簡要闡述其在半導體晶圓加工領域的應用。

      我們采用了Nanomotor系列中的3個SNM01產品,其行程為13mm, 開環控制,分別用來調節晶圓薄片加工平臺的垂直高度Z和兩個角度(俯仰、偏擺),通過與Nanomotor配套的4軸智能控制器一次性控制3個Nanomotor 產品的步進距離,從而實現對晶圓薄片的 定位和位置調節(如下圖)。而傳統的伺服電機或步進電機則由于其較大的體積和重量使其無法應用到此類場合。

      

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